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應(yīng)用

· 半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)

· 用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)超純氣體

產(chǎn)品特性

· 高精度壓力測(cè)量0.15 % RSS

· 卓越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

· 信號(hào)降噪和屏蔽

· 真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量

· 主動(dòng)溫度補(bǔ)償

描述

可靠
WUD-2x系列超高純度傳感器將先進(jìn)的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合，能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供最安全、最精確的壓力測(cè)量。
基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測(cè)量技術(shù)，確保了高精度壓力測(cè)量以及優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時(shí)的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器 采用特別設(shè)計(jì)，可承受安裝帶來(lái)的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計(jì)可消除過(guò)程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險(xiǎn)。

多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
配備2個(gè)可編程開(kāi)關(guān)輸出，可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x是市面上最緊湊的UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合，甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。